SRM2133 Si深度剖面中的磷種植標(biāo)準(zhǔn)品NIST 旨在用于通過二次離子質(zhì)譜 (SIMS) 分析技術(shù)校準(zhǔn)對硅基質(zhì)中微量和痕量磷的二次離子響應(yīng)。 SRM 2133 用于校準(zhǔn) SIMS 儀器對磷的響應(yīng)特定儀器條件下的硅基體。它也可以被實(shí)驗(yàn)室用作校準(zhǔn)硅中磷工作標(biāo)準(zhǔn)的轉(zhuǎn)移標(biāo)準(zhǔn)。該 SRM 由一個(gè) 1 cm × 1 cm 的單晶硅襯底組成，該襯底已離子注入同位素 31P，標(biāo)稱能量為 100 keV。

SRM2133 Si深度剖面中的磷種植標(biāo)準(zhǔn)品NIST 已通過 31P 原子保留劑量認(rèn)證。劑量以每單位面積的磷質(zhì)量單位表示?；?SIMS 分析，提供了關(guān)于磷原子濃度隨地表以下深度變化的其他未經(jīng)認(rèn)證的信息。

認(rèn)證值和不確定性：

31P 原子的總保留劑量通過放射化學(xué)中子活化分析 (RNAA) 確定。將兩種獨(dú)立制備的磷參考溶液（其中一種是 NIST SRM 3139a 磷標(biāo)準(zhǔn)溶液，經(jīng)過磷濃度認(rèn)證）的等分試樣沉積在鋁箔并作為標(biāo)準(zhǔn)。

得到的認(rèn)證值和擴(kuò)展不確定度為： 認(rèn)證值中的不確定度表示為擴(kuò)展不確定度 U = kuc，其中 k 是 2.0 的覆蓋因子，給出的近似置信水平為 95 %，uc 是計(jì)算得出的組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度根據(jù) ISO 指南 [1]。組合標(biāo)準(zhǔn)不確定度是通過組合從測量過程中通過不確定度傳播得出或估計(jì)的單個(gè)標(biāo)準(zhǔn)不確定度獲得的 [1]。 A 型和 B 型標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量來自以下主要來源的測量不確定度：(1) 樣品的測量重復(fù)和異質(zhì)性，(2) 比較標(biāo)準(zhǔn)的測量重復(fù)，(3) 標(biāo)準(zhǔn)溶液的濃度，(4) 放射化學(xué)雜質(zhì)，（5）標(biāo)準(zhǔn)的體積校準(zhǔn)，和（6）載體產(chǎn)量的測定。已考慮所有已知的潛在不確定性來源